Силиконовые жидкости для диффузионных вакуумных насосов DC-704 и EFELE SO-704

Однокомпонентные силиконовые жидкости EFELE SO-704 и Dow Corning 704, более известная как DC-704, обеспечивают быструю откачку газов даже в жестких условиях работы вакуумного насоса - при длительном воздействии высоких температур и радиации.

Устройство, служащее для откачки газов или паров до определенного уровня давления называется вакуумным насосом. По своему назначению вакуумные насосы подразделяются на сверхвысоковакуумные, высоковакуумные, средневакуумные и низковакуумные, а в зависимости от принципа действия – на механические и физико-химические.

В машиностроительной, металлургической и электронной отраслях промышленности большое распространение получили вакуумные насосы двух типов:

  • пластинчато-роторные (механические);
  • диффузионные (струйные).

Вакуумные насосы последнего типа являются одним из основных инструментов получения высокого и сверхвысокого вакуума. Их важное преимущество заключается в отсутствии движущихся частей. Действие пароструйных диффузионных насосов основано на использовании в качестве откачивающего элемента высокоскоростной паровой струи.

Паромасляный вакуумный насос имеет водоохлаждаемый металлический корпус (цилиндр с глухим днищем), в который вставлены паропроводы с соплами. Рабочую жидкость заливают в кипятильник, где она подогревается электроподогревателем. Пары жидкости поднимаются по паропроводам к соплам, выходят через них и конденсируются на стенках насоса. Конденсат стекает вниз и снова попадает в кипятильник. За счет постоянного испарения и конденсации рабочей жидкости между паропроводами и объемом насоса поддерживается значительный перепад давлений. Вследствие этого, а также благодаря специальной конструкции сопел пар стекает в объем корпуса насоса со сверхзвуковой скоростью. Молекулы откачиваемого газа, диффундирующие в струю пара, при соударении с более тяжелыми частицами получают направленное движение вниз и к стенкам корпуса, а затем скапливаются в зоне конденсации. Там они увлекаются в движение следующей ступенью откачки, последовательно сжимаются, пока не удалятся из вакуумного насоса.

Предельный вакуум, создаваемый диффузионными насосами, определяется числом ступеней, конструкцией сопел, а также типом рабочей жидкости и температурой ее нагрева.

В качестве рабочих жидкостей для диффузионных насосов применяют специальные вакуумные жидкости (минеральные или синтетические). Они не только обеспечивают высокую степень вакуума за счет уплотнения зазоров и предотвращения обратного прорыва газа, но и смазывают трущиеся детали.

Жидкости для диффузионных вакуумных насосов должны обладать:

  • устойчивостью к разложению при нагревании;
  • минимальной способностью растворять газы;
  • химической стойкостью к откачиваемым газам;
  • совместимостью с материалами насоса;
  • малой теплотой парообразования.

Для вакуумных насосов диффузионного типа рекомендуется применять специальную жидкость на кремнийорганической основе EFELE SO-704 или ее полный аналог - Dow Corning 704 (в настоящее время эта жидкость в Россию не поставляется). В отличие от нефтяных масел, серьезным недостатком которых является чувствительность к перегреву и окисляемость при контакте с воздухом, однокомпонентные силиконовые жидкости EFELE 704 и Dow Corning 704 (DC-704) более однородны по составу и выдерживают длительное нагревание до 150-200 °С. Силиконовые жидкости для высокого вакуума отлично зарекомендовали себя в жестких условиях работы, обеспечивая быструю откачку даже после внешнего воздействия воздуха и температуры.

Жидкости для диффузионных вакуумных насосов DC-704 и EFELE SO-704 могут применяться даже в условиях радиации и нагрева, не загрязняя при этом рабочую камеру.